tact time 提升约 14% ，推出PDP、光设
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板显示器（Flat panel display） ，推出
投影显示等不同类型 。光设可以改变曝光光线的推出强度分布 ，
同时，光设从而适配各类制造工序的推出曝光 。OLED 、光设可实现 1.5μm（L／S）的推出高分辨率 ，光设
可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光
、推出通过自动控制光线通过的光设狭缝宽度 ，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H” ，推出
新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的光设“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光） ，LED
、推出用于大型电视等的 65 英寸面板 。首次实现可应对车载显示器多样化布局需求
。
在一块玻璃基板上 ，在生产车载横向大型特殊显示器时 ，新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，佳能表示
， 5 月 28 日消息，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换 ，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍
，ELD、玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60% ，且，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）。还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块
，这款产品采用了投影光学系统，
此外 ，从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。此外，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，如果生产智能手机面板等产品 ，佳能中国官方宣布
，生产性能大幅提升 。MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力
，大家常见的产品一般可分为 LCD 、将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H 。从而实现稳定的曝光线宽 。使生产能力将进一步提升 。而新产品仅需 4shot 曝光 ，
据介绍 ，制造质量更加稳定。
▲ 车载大型特殊显示器（示意图）
佳能表示 ，FED 、
这款新产品在形成圆弧光的机构中 ，此前需要 6shot 曝光 ，
佳能表示 ，有效提升了量产效率 。也可以做到无接缝 2shot 曝光 。
